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我國MEMS傳感器技術(shù)產(chǎn)業(yè)升級策略研究

碩天鸞; 黃偉 中國信息通信研究院信息化與工業(yè)化融合研究所

關(guān)鍵詞:傳感器 mems 半導體 升級策略 

摘要:通過總結(jié)MEMS傳感器整體發(fā)展趨勢,跟進技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展動態(tài),分析重點應用領(lǐng)域與技術(shù)環(huán)節(jié),梳理總結(jié)我國面臨的挑戰(zhàn)和問題,提出關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)、產(chǎn)業(yè)化應用推廣、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同等技術(shù)產(chǎn)業(yè)升級策略。

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