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石墨烯納機電諧振式傳感器研究進展
樊尚春; 朱黎明; 邢維巍 北京航空航天大學儀器科學與光電工程學院; 北京100191; 工信部量子傳感技術重點實驗室; 北京100191
關鍵詞：石墨烯 諧振 納機電 傳感器 綜述
摘要：石墨烯是一種新型的二維納米材料,因獨特的電學和力學性質而備受關注。近年來,一系列針對石墨烯諧振特性及其應用的研究得到廣泛開展,已顯示出石墨烯在諧振式納機電傳感器領域巨大的應用潛力。簡要描述了石墨烯優異的物理性能和目前主要的幾種石墨烯制備工藝現狀,重點介紹了近期石墨諧振器的實驗、理論研究以及石墨烯諧振器在壓力、加速度和質量等物理量傳感器方面的應用進展,其中主要圍繞石墨烯諧振敏感結構、敏感機理和研究方法等方面進行評述,并分析了石墨烯諧振式傳感器研發所面臨的挑戰和發展前景。
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