購物車(0)
垂直耦合懸空型氮化硅微盤光學(xué)傳感器
關(guān)鍵詞：光學(xué)微腔 懸空型微盤 集成光學(xué) 傳感器
摘要：提出了一種垂直耦合型懸空氮化硅微盤諧振型傳感器,該傳感器由一個底部非懸空的接入波導(dǎo)和一個頂部懸空的微盤腔組成,并用實(shí)驗(yàn)證明了其具有較高的器件靈敏度和良好的機(jī)械穩(wěn)定性。對于半徑40μm的微盤,在1548.98nm諧振波長下可以實(shí)現(xiàn)超過104的品質(zhì)因數(shù)以及大小適中、5.66nm的自由光譜范圍。該傳感器的靈敏度可通過覆蓋不同的有機(jī)液體來測量,實(shí)驗(yàn)測得值約為554nm/RIU。該三維傳感器的制備與傳統(tǒng)的光刻工藝相兼容,利于大批量低成本生產(chǎn),同時憑借器件尺寸小、工藝簡單、檢測靈敏度高、響應(yīng)快、免標(biāo)記等特點(diǎn),在國防安全、生物檢測和環(huán)境監(jiān)測等方面具有廣闊的應(yīng)用前景。
計測技術(shù)雜志要求:
{1}英文摘要（Abstract：）和英文關(guān)鍵詞（Keywords:）(每一個關(guān)鍵詞用“；”分隔）。
{2}來稿須保證首發(fā)及原創(chuàng)，已發(fā)表過的論文、抄襲的論文不予采用。來稿確保不涉及保密、署名無爭議等，作者文責(zé)自負(fù)。本刊保留以法律途徑追究相關(guān)作者責(zé)任的權(quán)利。
{3}自征稿截止后一個月內(nèi)，將發(fā)出《用稿情況通知》，獲得用稿通知者，可按編輯部建議進(jìn)一步修改后提交電子文稿。如在收到《用稿情況通知》前，文章已在其他公開出版物或互聯(lián)網(wǎng)上發(fā)表，請作者務(wù)必告知。
{4}文中章節(jié)編號采用三級標(biāo)題頂格排序：一級標(biāo)題形如…排序；二級標(biāo)題形如…排序；三級標(biāo)題形如…排序。
{5}投稿時請同步提供：文章所有作者姓名、工作單位、職務(wù)（職稱）、聯(lián)系方式（手機(jī)號碼、辦公電話、郵箱、通訊地址及郵編等）、個人簡介以及照片。
注：因版權(quán)方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
