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一種步進(jìn)式壓電陶瓷驅(qū)動器負(fù)載模型研究

王學(xué)亮; 彭吉; 徐立松; 李朋志; 陳雪; 鄭楠; 李佩玥 中國科學(xué)院大學(xué); 北京100049; 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所; 吉林長春130033; 長春國科精密光學(xué)技術(shù)有限公司; 吉林長春130033

關(guān)鍵詞:壓電陶瓷 步進(jìn)式驅(qū)動器 定位控制 負(fù)載實(shí)驗(yàn) 多項式擬合 

摘要:為了能夠準(zhǔn)確高效地以步進(jìn)式壓電陶瓷驅(qū)動器進(jìn)行定位控制,文中對其在不同負(fù)載力條件下的位移性能進(jìn)行了研究。首先,設(shè)計和實(shí)施了測定驅(qū)動器位移-負(fù)載力曲線的實(shí)驗(yàn);然后,通過高階多項式擬合的方法對實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行擬合,分析得到可用的擬合結(jié)果,將其作為被測驅(qū)動器的位移-負(fù)載力關(guān)系;最后,隨機(jī)選取了其他的負(fù)載力條件,將實(shí)測位移量與通過擬合曲線進(jìn)行計算的結(jié)果進(jìn)行對比,驗(yàn)證該位移-負(fù)載力模型的準(zhǔn)確性。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,使用該方法獲得的步進(jìn)式壓電陶瓷驅(qū)動器的位移-負(fù)載力模型可用2階多項式關(guān)系進(jìn)行描述,與實(shí)測值的誤差約為1%,可為后續(xù)針對該驅(qū)動器進(jìn)行定位控制算法設(shè)計提供支撐。

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