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關鍵詞：電致化學拋光 液浮平面電極 comsol 法向剛度 傾覆力矩 

摘要：電致化學拋光是一種超光滑超平整表面的無應力加工方法,加工工具是大面積液浮平面電極,其穩定性是影響加工質量的最關鍵因素。研究電極穩定性對于提高加工質量具有重要意義。基于靜壓支撐原理,設計了電極結構,采用COMSOL仿真研究了液壓腔數目,傾斜方向對電極法向剛度和傾覆力矩的影響。結果顯示法向剛度大小與液壓腔數目成正相關,增加液壓腔數目可以有效提高電極抗傾覆能力和弱化其異向性,表明了增加液壓腔數目可以有效提高電極穩定性能。

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