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交指型MEMS濾波器的優(yōu)化設(shè)計(jì)
關(guān)鍵詞：交指濾波器 主動(dòng)空間映射算法 參數(shù)提取
摘要：交指型微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)濾波器是采用MEMS工藝制備出的交指型結(jié)構(gòu)濾波器,針對(duì)交指型MEMS濾波器電磁優(yōu)化算法中存在速度慢,占用計(jì)算資源大等問(wèn)題,對(duì)交指型MEMS濾波器優(yōu)化設(shè)計(jì)方法進(jìn)行了研究。采用主動(dòng)空間映射算法,在ADS和HFSS軟件中建立濾波器電路結(jié)構(gòu)模型和三維結(jié)構(gòu)電磁模型,并分別將它們用于主動(dòng)空間映射算法所需的粗糙仿真和精確仿真,僅進(jìn)行了5次精確仿真就完成了一款Ku波段濾波器的優(yōu)化設(shè)計(jì)。結(jié)果表明,設(shè)計(jì)的濾波器中心頻率為14GHz,頂部損耗為1.6dB,-1dB帶寬為2.2GHz,滿(mǎn)足設(shè)計(jì)指標(biāo)要求,同時(shí)驗(yàn)證了優(yōu)化設(shè)計(jì)方法的可行性。
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