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冶金法提純多晶硅退火工藝優(yōu)化的數(shù)學(xué)模型分析與試驗驗證
朱徐立; 徐隆; 蘇騎; 吳虹瓊 廈門城市職業(yè)學(xué)院機(jī)械與自動化工程系; 廈門361000; 美甘齊動(廈門)物料輸送工程股份有限公司; 廈門361000; 廈門理工學(xué)院軟件工程學(xué)院; 廈門361000
關(guān)鍵詞：多晶硅 冶金法 退火 建模 試驗
摘要：冶金法制備多晶硅過程中,通過對不同退火溫控方案進(jìn)行數(shù)學(xué)建模,探求優(yōu)化的退火理論溫度控制函數(shù)與曲線。數(shù)學(xué)模型表明,對硅鑄錠直接進(jìn)行保溫,依靠自然熱平衡退火,會使內(nèi)部應(yīng)力大于產(chǎn)生位錯的臨界應(yīng)力;采用加熱元件對硅鑄錠適當(dāng)加熱保溫可減緩降溫速率。通過比較,選擇較低的退火溫度1 236℃和較短的退火時間8.52 ks作為試驗退火溫控方案。試驗驗證表明,該退火方案得到的多晶硅鑄錠目視裂紋較少,少數(shù)載流子壽命與電阻率具有明顯優(yōu)勢。
宇航材料工藝雜志要求:
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